溶劑類廢液中的IPA、Stripper、Ethanol、NMP以蒸餾方式去除不純物並生成高濃度的化學品後再利用。 但IPA、Ethanol因有共沸點，再生成為更高濃度，則需添加第三成分的溶劑進行蒸餾，蒸餾後再以膜過濾方式去除水分製造出再生化學品。 顯影液則是以過濾器去除光阻等不純物後，調整濃度後再利用。而硫酸廢液則是以蒸餾方式濃縮後製造再生硫酸。
溶劑系化學品的接液部採用不銹鋼(SS316LEP, SS316LBA)，設備外構採用不銹鋼(SS304)。(Model-1) 酸、鹼類化學品，接液部採用氟化樹脂(PFA、PTFE)，設備外構採用PP或PVC。(Model-2) 硫酸的低溫部採用PFA、PTFE，高溫部採用耐熱玻璃、石英。
