依廢液的特性，溶劑類、酸類、氫氟酸類、鹼類、過氧化氫類需要分別回收。 酸、鹼類廢液一般是採中和、凝集沉澱處理後，放流至河川或下水道。 過氧化氫類廢液則是將過氧化氫分解後，放流至河川或下水道，但若無過氧化氫分解設備時，則需交由廢液處理業者處理 溶劑類廢液則分別交給可回收化學品、可再利用化學品、廢液處理業者處理。
溶劑類廢液的接液部主要使用不銹鋼(SS304)，酸、鹼類系統則使用PP、PVC、PTFE lining、PFA管。
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