化學品供應系統

系統特色

製造半導體、FPD(Flat Panel Display)、太陽能電池時在洗淨、Etching、Stripping、Photo-Lithography等工程中往往需要使用到高純度化學品。此設備即是可維持化學品的高純度的同時安全供應給製造裝置。化學品通常由化學品製造商使用化學品容器(200L~20m3)運輸到製造工廠。經由泵送或氮氣驅送將化學品自容器,直接或經由儲存槽,並過濾去除粒子雜質,最後以輸送管供應給製造裝置。

本設備由CCB(Clean Coupling Booth)、CDB(Clean Drum Booth)、Transfer Unit、CDM(Chemical Dispense Module)、Storage Tank、Supply Tank、化學品供應配管、VMB(Valve Manifold Box)等所構成。

系統類別

根據化學品的使用量,共分為大型定置型(Lorry System)、小型定置型(Drum Systemwith Tank) 、LS-200(Drum System without Tank)等三種。 另外,依照化學品的種類,則分成溶劑用的Model-1、酸鹼用的Model-2、腐蝕性溶劑用的Model-3等三種類型。

材質説明

溶劑系化學品的接液部採用不銹鋼(SS316LEP, SS316LBA)材質,設備外構為不銹鋼(SS304)材質((Model-1))。酸鹼系化學品的接液部採用氟化樹脂(PFA、PTFE)的材質,設備外構為PP或是PVC材質(Model-2)。腐蝕性溶劑化學品的接液部採用氟化樹脂(PFA、PTFE)的材質,設備外構則採用不銹鋼(SS304)材質(Model-3)。

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